真空閥門大致有兩種:一（yī）種是關閉後隔絕大氣和真空（kōng）空間的開（kāi）關形閥門,另一種是調整通氣量的（de）流量可變（biàn）閥門。後者在導入氣（qì）體之（zhī）類的設備上使用。    

    一般而言的真空閥門是指開關氣路閥門。閥門的基本功能是在關閉時確實隔絕大氣和真空空間。

   (1)真空閥門的基本結構

(1)閥門封口部（bù）,

(2)傳動軸,

(3)外罩封口（kǒu）部。

根據三個部分的構造不同,被利用在不同的真空領域。

   (2) 閥（fá）門的形式

    閥（fá）門大體有四種形式,即角閥,蝶閥,直通閥和閘閥。各種閥門根據應用（yòng）的真空（kōng）領域而選定

   (3) 閥門（mén）的驅動

    閥門的驅動有手動和（hé）自動（dòng）兩種。自動閥門以（yǐ）壓縮空氣驅動為主,一部分小型（xíng）閥門通過電磁鐵來（lái）驅動。

    2.流（liú）量可變閥門

    流量可變閥門主（zhǔ）要應用於控製向真空容器內氣體導入量和控製有效排氣速度。

   (1)氣（qì）體導入閥門

    閥（fá）門（mén）,通過控製無氧銅和超（chāo）硬（yìng）合金接觸麵的氣體導（dǎo）通率來控製（zhì）氣體（tǐ）流量（liàng）,信賴性高。流量可變閥門由（yóu）金屬構成,可以烘烤也可以切斷氣體（tǐ）導入。

    (2)流通量可（kě）變閥門

    這種閥門被（bèi）安裝在（zài）真空腔和排氣泵之間,通（tōng）過調節氣體導通率來（lái）調節排氣速度。相片1是蝶形閥門,通過活塞角（jiǎo）度的變化調節氣（qì）體導通率（lǜ）。